[科学技术]王曦：领航高端硅基产业蓝海

达蒙(左)正在实验室做科学研究。

中国科学院院士达蒙，中国著名半导体材料专家，中国科学院上海微系统与信息技术研究所所长，中国高端集成电路基板材料的主要开拓者和领导者。3月23日，在上海市科技奖大会上获得2017年度科技英雄奖。

在中国，如果提到高端硅基soi材料的研发和产业化，业内人士都会提到一个名字——达蒙。

中国科学院院士达蒙，中国著名半导体材料专家，中国科学院上海微系统与信息技术研究所所长，中国高端集成电路基板材料的主要开拓者和领导者。

3月23日，52岁的他在上海市科技奖大会上获得2017年度科技英雄奖。

起航:工业化必须先行

中国的核心soi技术

1996年，达蒙作为访问学者前往欧洲最大的离子束材料研究基地——罗森多夫研究中心。1997年，中国科学院正在实施知识创新工程。中国科学院上海微系统研究所所长蒋绵恒通过德国找到了他，并希望他能回到中国发展。虽然洪堡访问学者达蒙的研究仅在一年后就结束了，但他在急于回国后于1998年6月回到中国，拒绝了德国研究所所长的一再留任。

达蒙回国后不久，得知一个震惊中国材料行业的消息。ibm宣布将把soi——一种21世纪国际公认的新型微电子材料——应用于处理器芯片的生产，这导致了一批著名的半导体跨国公司开发这项技术。Soi，绝缘体上硅的简称，中文翻译为绝缘体上硅。国际公认，soi在低压低功耗电路、耐高温电路、微机械传感器、光电集成等方面具有重要的应用价值。

达蒙意识到，加强soi技术在中国的应用研究，实现产业化进程迫在眉睫。33岁的达蒙毅然担起重任，带领科研团队，专注于soi材料制备中的关键技术“离子注入”。为了尽快赶上国际先进水平，他日夜在实验室工作。斗争迎来了黎明。2000年，离子束原位掺杂技术取得了重要进展，相关论文引起了国际同行的极大关注。

达蒙说，基础研究的科学家应该关注国家对工业的需求，将研究与国家的战略需求结合起来，他也这样做了。让达蒙和他的团队引以为豪的是，通过技术创新和研发，解决了“国内是否有航天电子器件急需的soi产品”的问题，为国内特殊领域核心元器件的自主控制做出了突出贡献。

多年来，达蒙致力于研究载能离子束与固体相互作用的物理现象以及工业转移的平行转化。在国际学术期刊和学术会议上发表论文400余篇，申请发明专利160余项；获贺亮合力基金科技进步奖、中国科学院杰出科技成果奖(第一名)、上海市科技进步奖一等奖(第一名)、上海市领军人才和国家创新一等奖。

领航:新一代硅基材料的成功实现

soi技术成果产业化

如果说1998年到2001年这段时间是soi走出实验室的关键阶段，那么从2001年开始，soi正式面向国民经济主战场，“下海试水”。

2001年7月，为了将科研技术应用于高端集成电路基板材料soi的开发，达蒙推动中国科学院上海微系统研究所成立上海鑫奥科技有限公司..他与soi研究小组的五名医生一起加入了公司，科学家达蒙转变为董事长兼首席执行官。

经过不懈的努力，研究团队开发出了超低剂量soi技术，创造了一种具有世界自主知识产权的注氧键合simbond-soi技术。达蒙坦率地说，当他和他的团队经过无数个日夜生产出光滑无瑕的“三明治”硅片时，每个人的快乐和兴奋都是无法形容的。

然而，仅仅拥有技术来运营和管理一个企业是远远不够的。融资、设备引进、技术突破、市场开拓都比预想的困难。达蒙表示，每一个环节遇到的波折都足以让人死心，也是在谈了100多次融资之后才宣布完成。

凭借毅力和信念，达蒙和他的团队一起度过了一场又一场风暴。大家划桨，终于实现了soi材料的产业化，填补了国内空白。中国制造的硅片出口到西方发达国家，成功实现了中国微电子材料的跨越式发展。

不出所料，《R&D与高端硅基soi材料产业化》获得2006年国家科技进步奖一等奖。上海鑫奥科技有限公司也成功完成了8英寸soi材料在国内的产业化，成为国内唯一的soi材料研发生产基地。

2014年，上海鑫奥科技有限公司与全球最大的SOI生产商法国soiTEC签署合作协议，巩固了双方的战略伙伴关系，确立了中国企业的国际地位。达蒙还记得，他创业之初，曾在法国soitec门口徘徊，只能和门卫聊天；没想到时隔多年，我还能在自己的国家和这个行业巨头平起平坐握手。

中国科学院上海微系统研究所所长助理、新伟集团总经理习覃告诉记者，达蒙作为企业领导者，创新意识很强，不仅体现在技术上，还体现在制度和机制上。他在不干涉投资专家判断的情况下推动风险投资基金的建立。他认为专业人士比科学家更熟悉资本市场。

公司执行副总裁李伟认为，达蒙对硅材料的国际市场有着敏锐的观察力，他的投资决策和勇气更令人钦佩。根据他的决定，该公司成功投资了两项国际收购。

目前，王带领团队，继续走在工业化的道路上。达蒙在上海大力推进一批重大半导体项目，积极从材料、制造、设计等方面布局中国发展12英寸fd-soi产业的战略规划，实现中国ic“弯道超车”；中国最大的12英寸大型硅片制造公司上海鑫盛半导体有限公司启动并成功拉出中国第一根高质量12英寸单晶硅棒。2017年，售出近10万片12英寸硅片，弥补了中国大尺寸硅片产业的不足。

责任重大:张江实验室

为…的发展而奋斗

王茜有许多不同的身份，其中之一是由中国科学院和上海市人民政府共同建立的张江实验室的主任。

达蒙表示，2017年9月26日，张江实验室正式成立，开启了上海科技创新中心建设的新篇章。短短四个多月，张江实验室取得了全面、实质性的进展。去年，上海超强超短激光实验装置实现10拍瓦放大输出，入选“十八大以来中科院20项标志性重大科技成果输出”。硬x光自由电子激光装置项目的建立是中国迄今为止投资最大的一项重大科技基础设施。这些重大基础设施和重大创新为张江实验室的建设和发展奠定了坚实的基础。

他希望通过自己的努力，帮助上海打造一个具有全球影响力的科技创新平台，以更加开放的方式聚集各方精英，实现科技创新对国家发展的战略支撑作用。